Dom > Razstava > Vsebine

ODF-VAS

Nov 15, 2017

Sistem za vakuumsko poravnavo

Cilj je, da TFT in CF v vakuumu s TFT in CF.

1.jpg


Osnovna struktura je naslednja

2.jpg

Sistem za vakuumsko poravnavo, sestavljen je iz naslednjih 3 sistemov

3.jpg

Sistem za vakuumsko poravnavo Delovni čas, predvsem po naslednjem vrstnem redu

4.jpg

1.1 vakuumski sistem

Vakuumski sistem AS je v glavnem sestavljen iz suhega vakuumske črpalke (Dry Pump) in turbo molekularne črpalke;

DP običajno traja le vakuum na približno 10 Pa;

TMP lahko vzame vakuum na približno 1Pa;


V nadaljevanju je shematični diagram vakuumskega cevovoda stroja VAS

5.jpg

1.2 adsorpcija stekla

Sistem za vakuumsko poravnavo, na podlagi zahtev po natančnosti steklene škatle, steklo ne more povzročiti nobenih deformacij, temveč tudi zmanjšati interferenco padanja, adsorpcijo stekla na stroju z najstarejšo vakuumsko adsorpcijo, razvojem do elektrostatične adsorpcije in nato prikazati Adsorpcija molekulske sile!

6.jpg

Na podlagi elektrostatične adsorpcije in adsorpcije molekulske sile naredimo naslednjo primerjavo

7.jpg

1.3 protipožarni sistem

Sistem za določanje položaja je preprosto koordinacija za pridobitev fotoaparata, prek sistema za obdelavo slike, izračun podpore položaja podlage in nato krmilni sistem nastavi položaj podlage, da doseže natančno poravnavo;

8.jpg

Postopek poravnave je naslednji

1. zgrabite gor in dol Markiraj koordinate;

9.jpg

2. Izračunajte theta, kot je prikazano na naslednji sliki

10.jpg


2. nato se premakne spodnji substrat in izračuna nova središčna točka Bm

3. končno, Bm'moves na položaj Um;